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检查刀具的光学传感器组件和包括它的切割基板用的装置制造方法及图纸
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下载检查刀具的光学传感器组件和包括它的切割基板用的装置的技术资料
文档序号:10443917
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提供检查刀具的光学传感器组件和包括它的切割基板用的装置。在本发明的一方面,提供一种用于切割基板的装置,包括:用于切割所述基板的至少一个刀具;和至少一个光学传感器,该至少一个光学传感器通过将光照射在所述刀具的刀刃上来检查所述刀具是否具有缺陷。...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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