下载检查刀具的光学传感器组件和包括它的切割基板用的装置的技术资料

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提供检查刀具的光学传感器组件和包括它的切割基板用的装置。在本发明的一方面,提供一种用于切割基板的装置,包括:用于切割所述基板的至少一个刀具;和至少一个光学传感器,该至少一个光学传感器通过将光照射在所述刀具的刀刃上来检查所述刀具是否具有缺陷。...
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