下载光学元件面形检测均匀支撑装置的技术资料

文档序号:10438592

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本发明公开了一种光学元件面形检测均匀支撑装置,属于光学元件面型检测领域。本发明的支撑装置,包括活动球头活塞支撑、直线轴承、壳体和底座;壳体固定在底座上并与底座构成腔体,壳体上设有按圆周均布且与腔体贯通的多个安装孔,每个安装孔的内壁上均设定有...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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