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一种径向抽拉式结构的物镜保护窗口属于光刻投影物镜内部光学系统保护领域，目的在于解决现有技术存在的不便维护、重复定位精度低的问题，避免作为物镜光学系统中的窗口光学镜片热吸收引起的面形变化。本发明包括固定组件、镜框组件和镜筒组件；镜框组件包括V...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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