下载多足旋转压电驱动器及其实现跨尺度驱动的激励方法的技术资料

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多足旋转压电驱动器及其实现跨尺度驱动的激励方法,属于压电驱动技术领域。解决了现有压电驱动器的驱动方法在具备快速、大行程响应能力的同时,难于兼具高精度、纳米尺度定位功能这一突出问题。本方法基于多足旋转压电驱动器的两组弯振压电陶瓷实现的,并根据...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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