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多足旋转压电驱动器及其实现跨尺度驱动的激励方法技术
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文档序号:10425209
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多足旋转压电驱动器及其实现跨尺度驱动的激励方法,属于压电驱动技术领域。解决了现有压电驱动器的驱动方法在具备快速、大行程响应能力的同时,难于兼具高精度、纳米尺度定位功能这一突出问题。本方法基于多足旋转压电驱动器的两组弯振压电陶瓷实现的,并根据...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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