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一种晶硅太阳能电池钝化材料Al2O3浓度梯度掺杂ZnO薄膜及制备方法，通过原子沉积在硅片表面进行Al2O3沉积以形成厚度为1nm～10nm的Al2O3层；然后继续在Al2O3层上进行n1次的ZnO沉积，然后进行1次Al2O3沉积，完成一次A...
该专利属于辽宁工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过辽宁工业大学授权不得商用。

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