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本实用新型涉及晶体生长炉领域，旨在提供一种用于晶棒装卸的多功能机械手。该用于晶棒装卸的多功能机械手包括水平移动装置、竖直移动装置、夹持装置和底座。本实用新型可夹持不同规格的晶棒，如6英寸和8英寸的圆棒和方棒；夹持可靠，定位精度高；夹持晶棒长...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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