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一种用于安装在电感耦合等离子体室的介电窗的中心孔中的改进型气体喷射器总成，所述气体喷射器总成包括窗，所述窗具有中心孔以及被配置为接收具有卡销开口的环形插件的圆柱形凹槽。气体喷射器总成包括气体喷射器、包围所述气体喷射器的射频防护屏以及包围所述...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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