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本发明提供一种利用小孔衍射波面拼接测量面形的检测装置及方法，从激光器发射的光经过滤波孔、第一聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、经过衰减片后经分光镜透射，再经反射镜反射的光再经分光镜反射，再经第一光学调整架，第二聚光镜组照射...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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