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本实用新型涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置,包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹;所述探针夹连接器固定于固定夹具上,并与探针夹连接。本实用新型探针夹体积小、质量轻,能够固定到压电陶瓷驱动器上,可以应用于倒置式原子力显微镜扫描头的结构...该专利属于中国科学院沈阳自动化研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院沈阳自动化研究所授权不得商用。
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本实用新型涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置,包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹;所述探针夹连接器固定于固定夹具上,并与探针夹连接。本实用新型探针夹体积小、质量轻,能够固定到压电陶瓷驱动器上,可以应用于倒置式原子力显微镜扫描头的结构...