【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹；所述探针夹连接器固定于固定夹具上，并与探针夹连接。本技术探针夹体积小、质量轻，能够固定到压电陶瓷驱动器上，可以应用于倒置式原子力显微镜扫描头的结构设计中；能够实现探针夹的快速装卸、探针的快速安装和固定，以及为探针提供纳米级位移的振动。【专利说明】 一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置
本技术涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持技术，具体地说是一种扫描探针的夹持装置，主要用于为构建倒置式原子力显微镜提供一种有效的探针夹持装置。技术背景目前，原子力显微镜是材料、生命科学、纳米技术等科学领域中的重要研究工具。通过原子力显微镜不但可以对样品表面的纳米形貌进行观测，同时也可以对样品表面的三维纳米结构参数进行检测。目前，原子力显微镜主要有两种结构，一种是正置式，即样品放置于压电陶瓷驱动器上，由压电陶瓷驱动器实现样品的三维运动，从而实现探针在样品表面的三维扫描检测，在这种结构下，探针夹持装置是固定的，因此结构相对简单，容易实现，但是能够承载的样品尺寸小；另一种是倒置式，...
【技术保护点】
一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，其特征在于：包括固定夹具(2)、探针夹连接器(3)和探针夹(4)；所述探针夹连接器(3)固定于固定夹具(2)上，并与探针夹(4)连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：于鹏，刘柱，周磊，杨洋，王栋，刘连庆，焦念东，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳自动化研究所，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
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