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本实用新型提供一种研磨砂轮结构,至少包括一环形安装部及若干环设于所述环形安装部外缘且间隔排列的研磨片;所述研磨片包括相对的一对圆弧形侧面及相对的一对平面侧面;所述圆弧形侧面平行于所述环形安装部的圆周;所述平面侧面与所述圆弧形侧面的夹角为锐角...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种研磨砂轮结构,至少包括一环形安装部及若干环设于所述环形安装部外缘且间隔排列的研磨片;所述研磨片包括相对的一对圆弧形侧面及相对的一对平面侧面;所述圆弧形侧面平行于所述环形安装部的圆周;所述平面侧面与所述圆弧形侧面的夹角为锐角...