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本实用新型所公开的晶圆清洗刷和晶圆清洗装置，通过在刷轴所连接的第一马达驱动所述刷桶沿晶圆表面第一方向移动的同时沿第一方向作左右摆动。当刷桶转动的时候，晶圆表面会同时受到垂直向下及水平方向的摩擦作用，使得晶圆表面上的大多数颗粒可以沿着刷桶移动...
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