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本发明公开了一种微小自聚焦透镜聚焦光斑质量检测装置及方法，本装置包括光源、光纤跳线、五维调整架、微小自聚焦透镜夹具、显微系统、光束分析仪和计算机。运行计算机和光束分析仪，光源的输出光束依次通过光纤跳线、微小自聚焦透镜、显微系统后传输到光束分...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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