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一种机台之机械手臂偏移的检测装置，具体为晶舟，具有间隔设置的控片容置区域，控片容置区域之第一控片容置区域和第二控片容置区域以中间控片容置区域为中心呈对称分布，且第一控片容置区域和第二控片容置区域沿晶舟之两端的纵向宽度较中间控片容置区域的纵向...
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