下载一种P型晶体硅刻槽埋栅电池的制备方法的技术资料

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本发明公开了一种P型晶体硅刻槽埋栅电池的制备方法,其工艺流程包括:单晶硅激光开槽、制绒并对其清洗、正面扩散形成PN结、选择性发射极形成以及去背结和磷硅玻璃、正面镀减反射膜、电极制作,传统刻槽埋栅电池的制作基础上,对电极制备做了改进,在开槽用...
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