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研磨装置所使用的研磨部件的外形调整方法以及研磨装置制造方法及图纸
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文档序号:10375027
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一种研磨部件的外形调整方法,分别在沿砂轮修整器(5)的摆动方向预先设定在研磨部件(10)上的多个摆动区间(Z1~Z5)对研磨部件(10)的表面高度进行测量,计算目前外形与研磨部件(10)的目标外形的差值,所述目前外形根据表面高度的测量值而得...
该专利属于株式会社荏原制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。
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