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氧化锌基溅射靶及其制备方法和薄膜晶体管技术
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文档序号:10373640
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提供了一种氧化锌基溅射靶、一种制备氧化锌基溅射靶的方法以及一种包括通过氧化锌基溅射靶沉积的阻挡层的薄膜晶体管。所述氧化锌基溅射靶包括烧结体,所述烧结体由掺杂大约1%w/w至大约50%w/w范围内的氧化铟的氧化锌组成。背衬板结合到烧结体的背面...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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