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本发明提供一种掩模版的清洗方法及装置，所述方法包括以下步骤：步骤1、提供待清洗掩模版，该掩模版由金属制成，其上附有有机材料膜层；步骤2、对该待清洗的掩模版进行微波加热，使附着在掩模版的有机材料膜层破碎；步骤3、停止微波加热,对微波加热过的掩...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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