温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的抛光组合物为抛光在绝缘层上形成的含钨金属层的抛光组合物，其包括磨粒、从由碘酸、亚碘酸和次碘酸组成的组中选择的一种以上的卤素酸、强酸、氢离子供给剂和水。...
该专利属于霓达哈斯股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过霓达哈斯股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。