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本实用新型涉及一种用于真空交换仓的减压防尘装置以及真空交换仓，所述减压防尘装置包括进气单元、托盘以及挡板；所述进气单元的一端与真空交换仓的进气管道连接，另一端伸入到所述托盘中；所述挡板设置在托盘开口端上，所述挡板上设置有挡板过滤单元。气体经...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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