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本发明提供一种抗蚀剂用聚合物以及含有该聚合物的抗蚀剂组合物，其为含有羟基的金刚烷基(甲基)丙烯酸酯的均聚物，上述均聚物中羟基部分或全部被缩醛基取代，利用光刻技术形成图案时，特别是，通过NPD方式形成图案时，可以防止厚度损失，同时防止厚度损失...
该专利属于锦湖石油化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过锦湖石油化学株式会社授权不得商用。

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