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本发明公开了一种高速数字扫描直写光刻装置，包括光源，光学照明系统，可编程图形发生器，投影光学系统，高速精密移动平台等五部分。曝光光束从光源发出，进入光学照明系统，准直成平行均匀的面光源投影至可编程图形发生器，而此时可编程图形发生器上的图形信...
该专利属于苏州微影光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州微影光电科技有限公司授权不得商用。

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