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多晶硅片的制绒工艺制造技术
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文档序号:10367189
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本发明公开了一种多晶硅片的制绒工艺,包括以下步骤:(1)在硅片表面喷涂一层碳化硅颗粒;(2)在含有硝酸和氢氟酸的混合液中进行酸制绒;(3)在氢氧化钾溶液中进行碱制绒;(4)在含有盐酸和氢氟酸的混合液中进行酸洗;(5)清洗并烘干。通过本工艺生...
该专利属于邬时伟所有,仅供学习研究参考,未经过邬时伟授权不得商用。
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