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本实用新型公开了一种远程等离子体系统（RPS）与化学气相沉积（CVD）设备之间的连接装置，通过将原有RPS与CVD设备腔体之间的连接管分段设置，并在二段连接管之间加装一个隔离阀，将RPS和腔体隔绝，使RPS和腔体之间不发生直接连通，在拆除R...
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