下载用于测量有机薄膜的厚度的设备和有机薄膜沉积设备的技术资料

文档序号:10363819

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本发明公开了一种用于测量有机薄膜的厚度的设备和具有该设备的有机薄膜沉积设备。所述用于测量有机薄膜的厚度的设备包括:基座;第一支撑件,结合到基座;第二支撑件,包括第一端和第二端,第一端连接到第一支撑件;检测器构件,连接到第二支撑件的第二端,以...
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