下载一种熔丝测试结构及硅片的技术资料

文档序号:10363280

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本实用新型提供了一种熔丝测试结构及硅片,涉及半导体器件制造领域,为解决现有技术中无法在线监控产品上熔丝相关性能的问题而设计;其中,熔丝测试结构包括:用于测试熔丝电阻的测试结构和熔丝,所述测试结构与所述熔丝通过金属线相连。本实用新型提供的方案...
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