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本发明提供一种半导体行业和LED行业使用的扩晶机，沿互相垂直的两条芯片切割道方向扩张十字形蓝膜，使得粘贴在十字形蓝膜上已经切好的晶元均匀扩张、芯片互相分离，相邻芯片之间的距离相等，使得后续的测量和分选的工艺占用较少的机器分辨和定位时间，达到...该专利属于佛山市南海区联合广东新光源产业创新中心;彭晖所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市南海区联合广东新光源产业创新中心;彭晖授权不得商用。