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本发明公开了一种绝缘栅双极型晶体管及其制作方法，所述绝缘栅双极型晶体管包括：集电区；位于所述集电区表面上的超结漂移区；位于所述超结漂移区表面上的有源区以及第一终端结构，所述第一终端结构包围所述有源区；包围所述超结漂移区以及第一终端结构的第二...该专利属于中国科学院微电子研究所;江苏物联网研究发展中心;江苏中科君芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所;江苏物联网研究发展中心;江苏中科君芯科技有限公司授权不得商用。