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本实用新型涉及成膜装置和载体。在抑制在输送载体过程中产生的载体振动的同时稳定地输送载体。由于第一杆状构件（310）的从下方支撑载体（25）的第一支撑面（7X）相对于水平方向倾斜45°，因此，作用于水平方向上的第一水平方向负载（7B）施加于载...
该专利属于昭和电工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过昭和电工株式会社授权不得商用。

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