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本发明涉及一种产生方法和信息处理装置。本发明提供一种产生在用于曝光基板的曝光装置中使用的多个掩模的图案的数据的产生方法，产生方法包括以下步骤：根据以要在基板上形成的图案要素为交点的网格上的多个点规定容许在构成要在基板上形成的目标图案的目标图...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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