下载金属连线短路测试结构的技术资料

文档序号:10353355

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本实用新型提出了一种金属连线短路测试结构,包括块形金属连线、条形金属连线和形成于两者之间的介质层,并且一部分区域条形金属连线的下方有块形金属连线,另一部分区域的条形金属连线的下方全部为介质层,条形金属连线分为保持隔离的两部分;从而模拟实际生...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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