下载镀膜装置及镀膜方法的技术资料

文档序号:10348205

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本发明提供一种向被处理基板进行共蒸镀的镀膜装置和镀膜方法,该镀膜装置包括:第一蒸镀源,设置于所述被处理基板的下方;第二蒸镀源,设置于所述被处理基板的下方;以及第一开孔遮板,设置于所述第一蒸镀源与所述被处理基板之间,所述第一开孔遮板包括多个开...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。

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