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本实用新型公开了一种双槽沟槽蚀刻机,包括机架,机架上设有酸洗槽、水洗槽,所述酸洗槽与水洗槽之间设有输送装置,所述输送装置上活动连接有旋转篮筐,所述输送装置可把旋转篮筐送入酸洗槽进行蚀刻、所述输送装置可把旋转篮筐送入水洗槽进行清洗,所述旋转篮...该专利属于山东高唐杰盛半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东高唐杰盛半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种双槽沟槽蚀刻机,包括机架,机架上设有酸洗槽、水洗槽,所述酸洗槽与水洗槽之间设有输送装置,所述输送装置上活动连接有旋转篮筐,所述输送装置可把旋转篮筐送入酸洗槽进行蚀刻、所述输送装置可把旋转篮筐送入水洗槽进行清洗,所述旋转篮...