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本发明公开了一种生长在金属铝衬底上的AlN薄膜及其制备方法和应用，所述生长在金属铝衬底上的AlN薄膜包括金属Al衬底、生长在金属Al衬底上的AlN氮化层以及生长在AlN氮化层上的AlN薄膜；所述金属Al衬底以(111)面偏(100)方向0....
该专利属于广州市众拓光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市众拓光电科技有限公司授权不得商用。

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