温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜用的输气管道结构，包括管道本体，所述管道本体一端为进气端，所述管道本体上等间距开设有若干输出孔，其特征在于：所述相邻两个输出孔区段内均开设有若干微输出孔，所述微输出孔的孔径沿远离进气端的方向逐渐增大。本实用新...
该专利属于昆山日久新能源应用材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山日久新能源应用材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。