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本发明的目的在于提供一种基板搬送机构及搬送带的维护检修方法，在采用搬送带的基板搬送机构中，能够高效且容易地进行以除去误检测的原因为目的的维护检修作业。第一、第二、第三基板检测传感器（17、18、19）以在横穿搬送带（13）的基板搬送方向的方...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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