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本发明涉及一种镀膜系统及镀膜方法，尤其涉及一种动静混合镀膜系统及利用其进行动静混合镀膜的方法。动静混合镀膜系统，包括静态镀膜系统和动态镀膜系统；静态镀膜系统包括静态镀膜腔室、第一镀膜组件以及第一传输组件；所述往复扫描的距离是零或者是任何小于...
该专利属于浙江上方电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江上方电子装备有限公司授权不得商用。

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