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一种同时调制波长和发散角的光子晶体边发射激光器制造技术
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下载一种同时调制波长和发散角的光子晶体边发射激光器的技术资料
文档序号:10334766
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本发明公开了一种同时调制波长和发散角的光子晶体边发射激光器,其包括:N型衬底,N型衬底上的N型缓冲层,N型缓冲层上的光子晶体,光子晶体上的有源区,有源区上的P型限制层以及P型盖层,其中,所述光子晶体由至少两个周期构成,且每个周期中采用折射率...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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