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本实用新型提供一种带有隔离阀的半导体基片生产系统，包括操作室；反应室，通过隔离结构与所述操作室连通；其中，所述隔离结构包括隔离阀腔体，所述隔离阀腔体具有用于与所述操作室和所述反应室连接的法兰，所述隔离阀腔体内安装有隔离阀，所述隔离阀可以在打...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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