下载用于多线切割机晶托的拆卸装置的技术资料

文档序号:10331356

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本实用新型公开了一种在拆卸晶托时能够有效避免晶托滑落的用于多线切割机晶托的拆卸装置。该拆卸装置,包括可移动式支架、支撑杆,所述支撑杆一端固定在可移动式支架上,另一端悬空,在晶托上设置有与支撑杆相匹配的通孔,所述通孔的开孔方向与晶托上粘接的硅...
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