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本发明涉及用于将四氯化硅(STC)转换成三氯硅烷(TCS)的装置及相关联方法。转换器以环绕一反应室的一相对薄环形加热区为特征。在该环形加热区内围绕该反应室具有一环形构形的一加热组件。设计允许高对流热传递，其促成较低加热组件表面温度的使用、延...
该专利属于GTAT公司所有，仅供学习研究参考，未经过GTAT公司授权不得商用。

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