下载斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法的技术资料

文档序号:10328438

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本发明公开了一种斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法。该点衍射板的基底采用折射率均匀的光学玻璃,且该光学玻璃为平行平板结构;所述基底的入射面上部镀有增透膜、下部镀有介质膜,基底的反射面上部镀有高反膜、下部镀有增透膜;所述入射面下部的介质膜内...
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