温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明属于清洗设备技术领域,涉及一种清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置。它包括电机驱动机构,所述的电机驱动机构的输出端连接涡轮组件,所述的涡轮组件啮合蜗杆组件,所述的蜗杆组件包括中空的蜗杆,蜗杆的一端密封连接具有进水口的旋转轴组件,另一端可...该专利属于浙江德清宝丰射流系统工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江德清宝丰射流系统工程有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明属于清洗设备技术领域,涉及一种清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置。它包括电机驱动机构,所述的电机驱动机构的输出端连接涡轮组件,所述的涡轮组件啮合蜗杆组件,所述的蜗杆组件包括中空的蜗杆,蜗杆的一端密封连接具有进水口的旋转轴组件,另一端可...