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本专利公开了一种非制冷长波红外探测器用吸收层结构,该吸收层位于探测器的热敏感薄膜上,自上而下依次由第一介质层、第二金属层、第三绝缘层组成。其特征在于:第一介质层是导热性好、抗腐蚀性强的氮化硅薄膜,作为减反层和器件保护层,膜厚为1000nm–...该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。
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本专利公开了一种非制冷长波红外探测器用吸收层结构,该吸收层位于探测器的热敏感薄膜上,自上而下依次由第一介质层、第二金属层、第三绝缘层组成。其特征在于:第一介质层是导热性好、抗腐蚀性强的氮化硅薄膜,作为减反层和器件保护层,膜厚为1000nm–...