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本实用新型公开的一种间距记录装置包括平面基座、伸缩单元及平面承压头；伸缩单元的一端与平面基座连接，其另一端与平面承压头连接；伸缩单元包括第一腔体和嵌套于所述第一腔体内的第二腔体；平面承压头第一表面与平面基座的第二表面平行，平面承压头第二表面...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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