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本实用新型公开了一种覆胶固晶设备,包括:晶圆盘,用于放置待固晶的晶粒;胶盘,用于对该晶粒的底部包覆胶水进行黏胶处理;载体,用于提供该晶粒的待固晶位;固晶臂,用于拾取该晶粒,并通过该固晶臂将所述晶粒送至胶盘工位进行黏胶处理,再通过该固晶臂将黏...该专利属于深圳翠涛自动化设备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳翠涛自动化设备股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种覆胶固晶设备,包括:晶圆盘,用于放置待固晶的晶粒;胶盘,用于对该晶粒的底部包覆胶水进行黏胶处理;载体,用于提供该晶粒的待固晶位;固晶臂,用于拾取该晶粒,并通过该固晶臂将所述晶粒送至胶盘工位进行黏胶处理,再通过该固晶臂将黏...