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本发明实施例提供了一种蒸镀装置,涉及显示技术领域的制造设备,可使金属掩模板与待蒸镀基板紧密贴合,从而在子像素单元蒸镀时形成正确的图案,在此基础上,可使作用于金属掩膜板的磁场均匀,避免由于磁场不均而对上述图案造成影响。该蒸镀装置包括:蒸镀腔室...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明实施例提供了一种蒸镀装置,涉及显示技术领域的制造设备,可使金属掩模板与待蒸镀基板紧密贴合,从而在子像素单元蒸镀时形成正确的图案,在此基础上,可使作用于金属掩膜板的磁场均匀,避免由于磁场不均而对上述图案造成影响。该蒸镀装置包括:蒸镀腔室...