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本实用新型提供一种合成的镀铜研磨机台，包括用于研磨晶圆的研磨部；研磨部包括研磨底座、位于研磨底座上的研磨垫、及位于研磨垫上方的旋转头；其中，旋转头包括：用于托付晶圆并将晶圆下压至研磨垫上研磨的研磨头、用于固定研磨头的中心旋转轴，中心旋转轴通...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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