温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

用于检查结晶化的装置包括：衬底，包括半导体层，半导体层包括彼此分离的多个结晶化区域；平台，被配置为改变衬底的位置，衬底放置在平台上；摄影单元，被配置为获取与半导体层有关的图像数据；检查单元，被配置为获取与半导体层有关的检查数据；以及控制单元...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。