下载一种利用掺杂硅颗粒制备纳米多孔硅的方法的技术资料

文档序号:10319902

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本发明公开了一种利用掺杂硅颗粒制备纳米多孔硅的方法,该方法包括选用一定掺杂浓度的硅颗粒,氢氟酸清洗后,选用硝酸盐、氢氟酸、氧化剂配制的溶液反应并进行超声辅助,再经离心清洗,最后通过稀硝酸清洗等后处理制备的三维纳米多孔硅。本发明通过大量实验筛...
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